請選擇版本:  
産品搜索:
 
  無機分析
有機分析
材料分析
分子光譜分析
表面分析(電子光譜)
樣品前處理
物理測試設備
無鹵分析
螢光X-Ray分析
化學耗氧(COD)分析
氫氣純化暨儲藏裝置
在線(on-line)分析系統
實驗室規劃設計施工
LIMS實驗室資料整合系統
ELGA純水機系統
顧問代檢諮詢服務
 
     在線(on-line)分析系統 > 在線(on-line)分析系統 >
線上監測系統

 

   緊隨著產業技術發展之迅速,對於製程中良率提升及污染控制也隨之重視及嚴謹。如在積體電路(Integrated Circuits)產業中其良率之好壞受到半導體製程中高純度化學品微量金屬污染的影響甚鉅,同時如何降低製程環境空氣中化學成分AMC對產品的影響,二者已成為半導體電子產業重要環境控制工作。

    傳統上這些微量金屬及空氣中揮發性有機物質(voc)皆以離線方式off-line取樣,再由ICP/MS及GCMS分別測試其化學物質含量;但是諸多的汙染都是發生於結果分析出來前或是問題產生前對於製程效果的幫助不大。如能發展線上監測系統;監測系統位於監測源附近或利用幫浦取樣(pumping)將液體或氣體經由取樣設備至分析設備直接監測則可能即早掌握環境中有機污染物或無機化學槽液對製程效果不佳之影響。
    傳統線上監測方式所面臨的如污染問題,元素或待測物經管線傳輸中因管線吸附所造成的損失及樣品長距離傳輸的時間差都是線上監測系統分析上的限制。但因需求之增加,且線上分析確能減低樣品分析時間及降低整體分析成本。
博精儀器技服團隊近年來卓立於諸多不同型態的線上監測系統,以其符合不同產業分析需求之線上分析需求
1.On-line ICPMS monitoring: 針對半導體製程中化學試劑槽,經由遠端自動化取樣系統將樣品傳輸到位於遠端實驗室分析並隨時監測分析微量元素。
2.On-line GC monitoring :利用線上取樣裝置直接將空氣抽樣後導入熱脫附儀-30℃的冷卻丼中,將空氣中VOC捕集濃縮在利用快速升溫將樣品送到GC分析。
3.On-line UV-EG monitoring:經由自動取樣裝置經UV光譜儀原理自動監測化學槽中EG成分純度變化。
4.On-line VPD-ICPMS monitoring:全自動線上晶圓表面微量金屬分析儀,可分析污染偵測極限小於108atoms/cm2及晶圓表面mapping 式掃描。
5.On-line ICP-OES plating Bath monitoring:線上自動分析電鍍液槽中組成份之含量。
6.On-line Micro-View monitoring:線上有機污染物質鑑定分析。

 
[关闭]
 
東莞公司
廣東省東莞市厚街鎮體育路發展大廈309室
電話: +86-769-85755380, +86-769-85755381
傳真: +86-769-85755376
昆山辦事處
江蘇省昆山市柏盧南路1250号雍景灣西苑6棟208室
電話: +86-512-57393383
傳真: +86-512-57393385
台灣公司
台北市110基隆路一段159号16樓
電話:+886-2-2746-7620
傳真:+886-2-2766-5176
 
Copyright @ 2008 A&B, Inc. All rights reserved.    粤ICP备08131241号